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倉田 博基
ぶんせき, 1999(12), p.1034 - 1035, 1999/00
固体の局所状態分析を行う有力な手法として、ナノメートル以下の微少な電子プローブを利用した、走査型電子エネルギー損失分光法が、近年急速に進展してきた。このトピックス記事では、この手法の原理と装置に関する簡単な紹介を行った後、セラミックス材料の粒界近傍における不純物元素の検出と同定に関する研究のなかで、原子分解能に近い空間分解能で行われたオークリッジ研究所の研究例を紹介し、今後の展望について述べた。
